約佔全球半導體冷卻劑總產量80%的美國3M公司於2022年12月20日正式宣布即將在2025年底前完全停止生產所有含氟聚合物、氟化液體和基於 PFAS 的添加劑產品。
新聞稿內指出3M是基於法令監管趨勢以及減少或消除PFAS在環境中的存在後決定停止生產PFAS。目前PFAS在3M的年淨銷售額約13億美元，EBITDA 利潤率約為 16%。在此過渡期中3M仍持續履行當前的合約義務。
含氟表面活性劑簡寫為PFAS(又稱永久性化學物質)是多個氟原子取代氫所得到的一類表面活性劑，廣泛運用在各種商品上，需要很長時間才能分解，如今也普遍存在於土壤與水中，和人、魚類、野生動物身上。含氟表面活性劑在降低表面張力的能力上比傳統的碳氫表面活性劑更具有優勢；日常及民生用品應用層面為各種防油紙袋、紡織品、地毯、鞋材、航空科技、運輸、電子業以及廚具等用品。在半導體上則作為蝕刻過程中的冷卻劑、光微影製程，包括光酸生成劑及防止反射塗層等。
研判是基於各國對於PFAS法規日趨嚴格，且3M比利時工廠在2022年時因環保問題勒令停業及今後相關製品所產生的法律賠償金額過於龐大不足以繼續經營此項業務所導致。目前在我國半導體產業上不論先進製程或成熟製程，都需要用到半導體冷卻劑，今後如何尋找替代方案並兼顧環境責任將是半導體產業鏈中的危機與轉機。
資料來源: 3M News Center - 3M to Exit PFAS Manufacturing by the End of 2025